- 產(chǎn)品品牌：
- 測(cè)量?jī)x
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 測(cè)量?jī)x
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型號(hào) |
Excel651UM |
Excel651UC |
Excel652UM |
Excel652UC |
Excel654UM |
Excel654UC |
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量測(cè)行程 |
650x650x160mm |
650x650x250mm |
650x650x400mm |
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外形尺寸 |
1311x1604x1608mm |
1311x1604x1788mm |
1311x1604x2088mm |
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重量 |
1530kg |
1550kg |
1550kg |
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承載重量 |
100kg |
100kg |
100kg |
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平臺(tái)材質(zhì) |
鋼構(gòu) |
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基座材質(zhì) |
花崗巖 |
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傳動(dòng)方式 |
Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z |
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電控系統(tǒng) |
伺服系統(tǒng): CNC, 滑鼠, 搖桿 |
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電源系統(tǒng) |
93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp |
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XY |
Uxy=2.5+L/300μm |
Uxy=2.8+L/300μm |
Uxy=3.2+L/300μm |
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Z |
Ux=2.5+L/150μm |
Ux=3.0+L/150μm |
Ux=3.5+L/150μm |
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XY 重現(xiàn)性 |
2.5μm |
2.8μm |
3.2μm |
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Z 重現(xiàn)性 |
2.5μm |
3.0μm |
3.5μm |
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XY 加速度 |
1000mm/S2 |
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Z 加速度 |
500mm/S2 |
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XY 移動(dòng)速度 |
500mm/s |
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Z 移動(dòng)速度 |
150mm/s |
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光學(xué)尺解析度 |
0.1μm |
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影像 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
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光源 |
紅光LED |
白光LED |
紅光LED |
白光LED |
紅光LED |
白光LED |
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照明系統(tǒng) |
表面光, 輪廓光,同軸光 |
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光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 |
12x 光學(xué)/2.5x 數(shù)位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 |
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軟體 |
InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) |
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工作環(huán)境 |
20℃(68℉)±2°,30-80%濕度 |
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