活動(dòng)范圍 ~300mm x 300mm
測(cè)量范圍 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option)
測(cè)量速度 1~2 sec./site(fitting time)
應(yīng)用領(lǐng)域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
選擇 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物鏡旋轉(zhuǎn)器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點(diǎn) Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp

• 主要特點(diǎn)

• 尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
  重量 400kg
  類型 自動(dòng)的
  測(cè)量方法 無連接的
  測(cè)量原理 反射計(jì)
  特征

  測(cè)量迅速，操作簡(jiǎn)單 
  非接觸式，非破壞方式 
  的重復(fù)性和再現(xiàn)性 
  2D/3D 映射和造型 
  自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制 
  電荷耦合器件照相機(jī) 
  自動(dòng)調(diào)焦

• 儀器介紹

• 1996年以來，科美在半導(dǎo)體，平板顯示器，電子物質(zhì)，生命科學(xué)和化學(xué)分析上，研發(fā)和提供了獨(dú)特的，先進(jìn)的解決方案。科美，作為測(cè)量和分析技術(shù)市場(chǎng)上的領(lǐng)頭和動(dòng)力，以它突出的表現(xiàn)得到了世界范圍的認(rèn)可。