活動(dòng)范圍 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
測(cè)量范圍 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option)
測(cè)量速度 1~2 sec./site
應(yīng)用領(lǐng)域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
選項(xiàng) Programmable Auto Z Stage
參考樣品(K-MAC or KRISS or NIST)
焦點(diǎn) Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp

• 主要特點(diǎn)

• 尺寸 500 x 610 x 640 mm
  重量 45Kg
  類型 手動(dòng)的
  測(cè)量樣本大小 ≤ 8", 12"
  測(cè)量方法 無(wú)連接的
  測(cè)量原理 反射計(jì)
  特點(diǎn)

  測(cè)量迅速，操作簡(jiǎn)單
  非接觸式，非破壞方式
  Print Function of Each View & Data Saving

• 儀器介紹

• 1996年以來(lái)，科美在半導(dǎo)體，平板顯示器，電子物質(zhì)，生命科學(xué)和化學(xué)分析上，研發(fā)和提供了獨(dú)特的，先進(jìn)的解決方案?？泼?，作為測(cè)量和分析技術(shù)市場(chǎng)上的領(lǐng)頭和動(dòng)力，以它突出的表現(xiàn)得到了世界范圍的認(rèn)可。