- 品牌/商標(biāo)：TOHO，KLA-Tencor
- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：日本
儀器簡(jiǎn)介：
技術(shù)參數(shù)：
主要特點(diǎn)：
應(yīng)用：
◆各種材質(zhì)及薄膜應(yīng)力分析。
◆ 其他型號(hào)：FLX-3300 (適用于12”樣片)
技術(shù)參數(shù)：
Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計(jì)測(cè)量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。
主要特點(diǎn)：
◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統(tǒng)可自動(dòng)選擇匹配之激光源；
◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測(cè)不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；
◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫(kù)，便于新材料的研究實(shí)驗(yàn)；
◆形象的軟件分析功能，用于不同測(cè)量記錄之間的比較，且測(cè)量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔；
◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。
