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品牌:MAXTEK
型號(hào):MDC-360
名稱:晶控儀
產(chǎn)品信息:
兆赫頻率分辨率:0.03
質(zhì)量分辨率:0.375 Ng/cm2(0.014)
厚度:0.5%+ 1
測(cè)量更新率動(dòng)態(tài)調(diào)整:0.5至10赫茲
顯示更新頻率:10 Hz
傳感器晶體頻率:2.5,3,5,6,9.5,10兆赫
兆赫頻率分辨率:0.03
質(zhì)量分辨率:0.375 Ng/cm2(0.014?鋁)
厚度:0.5%+ 1個(gè)計(jì)數(shù)
測(cè)量更新率動(dòng)態(tài)調(diào)整:0.5至10赫茲
顯示更新頻率:10 Hz
傳感器晶體頻率:2.5,3,5,6,9.5,10兆赫
MDC- 360是基本型,前面輸入,操作簡(jiǎn)單,功能齊全并能控制多達(dá)四個(gè)單或多個(gè)控制和接口,雙或者多晶傳感器。它有多達(dá)99進(jìn)程,999層的定義和完整的材料32的定義,一個(gè)物質(zhì)和系統(tǒng)參數(shù),包括多速率。它完全符合2.5至10 MHz的晶體傳感器支持可編程的。
MDC-360膜厚控制儀具備全自動(dòng),單層或多層蒸鍍控制功能,通過(guò)可靠的數(shù)字信號(hào)程控,可用于批量生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)室研發(fā)以提高膜特性的重復(fù)及可預(yù)測(cè)性,該設(shè)備具有功能強(qiáng)大的自我檢測(cè)系統(tǒng),運(yùn)行限制條件與中止功能可由操作員設(shè)定。










