一、基本技術參數(shù)

1．型    號：FUNION 564

2．行   程：X軸——700mm    Y軸——800 mm    Z軸——600 mm

3．結構型式：活動橋式

4．傳動方式：直流伺服系統(tǒng)+預載荷高空氣軸承

5．長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm

6．機   臺：高花崗巖平臺

7．使用環(huán)境：溫度(20&plun;2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h

8．空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

9．空氣流量：120 L/min – 140 L/min

10．整機尺寸(LWH)：1.8 mX 1.4 m X 2.6 m

11．機臺承重：800 kg   

12．整機重量：1500Kg

13．空間測量：（3+L/300）μm

二、控制系統(tǒng)及探針測量系統(tǒng)：
1．驅動系統(tǒng)：直流伺服電機
2．控制系統(tǒng)：RENISHAW UCC
3．操作方式：計算機自動控制+微電腦操縱盒
4．控制軟件：SEREIN DMIS數(shù)控版
5．探測系統(tǒng)：RENISHAW 

三、非接觸式掃描測量系統(tǒng)(選配）

 ---------artEye單目激光掃描系統(tǒng)

    1．控制軟件：MultiScan
2．操作方式：軟件控制
3．掃描景深：60 mm
4．單次掃描寬度：50 mm
5．掃描速度：1500 p / sec
6．掃描方式：激光線掃描
7．工件裝夾方式：任意裝夾
8．掃描：0.05 mm
9．圖像采集系統(tǒng)：Euresys圖像采集卡+精工鏡頭+低照度高分辨率CCD
10．激光系統(tǒng)：650 nm波長激光，功率20 mW，連續(xù)可調(diào)
11．電源：AC 220&plun;5V，50 Hz
12．使用環(huán)境：溫度≤40℃，濕度≤85%

備注：單CCD測頭artEye，可直接加在RENISHAW PH10M的測頭座上