產(chǎn)品用途
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像與目視的高、率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,也可作三維輔助測(cè)量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
●X、Y、Z軸0.5μm分辨率;
●高非接觸式光測(cè)高度量測(cè)模塊;
●Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕;
●同軸表面光/底光測(cè)量;
●內(nèi)建偏光量測(cè)光學(xué)模塊;
●可量測(cè)透明材質(zhì)納米級(jí)高度差
技術(shù)參數(shù)
規(guī)格型號(hào) MTM-1510M MTM-2010M
工作行程X、Y、Z軸 150*100*120(mm)200*100*120(mm)
光學(xué)尺分辨率 0.5μm
示值誤差 X、Y坐標(biāo)≤(3+L/75)μm(L為測(cè)量長(zhǎng)度,單位mm)
影像系統(tǒng)彩色1/2“CCD攝像機(jī);640*480像素;結(jié)合測(cè)量軟件
顯微鏡系統(tǒng)目鏡:10倍
濾光片:紅,藍(lán),綠,白
測(cè)量模式:反射,,偏光
5孔物鏡轉(zhuǎn)換器
照明系統(tǒng)照明光源:白光LED,亮度可調(diào)
同軸照明光源:鹵素?zé)?,亮度可調(diào)
物鏡
倍率 5X 10X 20X 30X
工作距離(mm)20.0 18.3 8.8 2.0
高度量測(cè)模塊(選配件)光干涉高度量測(cè)模塊(M10-CA),高度量測(cè)分辨力0.5μm(選配)
倍率:10X,工作距離5mm,光學(xué)分辨力2μm
其它參數(shù)
外形尺寸(mm)590*560*850
儀器重量(kg)100 110
電源功耗 110V—220V 50/60Hz<60W








