JEM-2100F　電子顯微鏡
　　JEM-2100F是一款的電子顯微鏡，主要特點是可以快速地獲得分辨率圖像。JEM　2100F是新一代電子顯微鏡，使原子尺度的結(jié)構(gòu)分析更簡便，在生物學(xué)、和材料學(xué)的研究，以及半導(dǎo)體和制藥工業(yè)中很有用。
　　JEM-2100F的束斑尺寸在0.5nm以下，在同類200kV電子顯微鏡中，它的分析、獲得的圖像質(zhì)量。新型的側(cè)插式測角樣品臺，便于樣品的傾斜、旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻和多點程序設(shè)定，且機械飄移小。JEM-2100F可以連接STEM，MDS，EDS，EELS，和　CCD相機等許多附件。
　　規(guī)格型號及技術(shù)參數(shù)：
　　UHR
　?。ǚ直嫘停?
　　HR
　　（高分辨型）
　　HT
　?。ǜ邇A斜型）
　　分辨率
　　點分辨率
　　0.19nm
　　0.23nm
　　0.25nm
　　線分辨率
　　0.1nm
　　0.1nm
　　0.1nm
　　加速電壓
　?。?0，100，120）*160，200kV
　　加速電壓小步長
　　50V
　　電子
　　電子發(fā)射體
　　ZrO/W（100）Schottky
　　亮度
　　≥4×108A/（cm2.sr）
　　真空度
　　10-8Pa　數(shù)量級
　　束流
　　≤0.5nA（束斑尺寸為1nm時）
　　穩(wěn)定度
　　加速電壓穩(wěn)定度
　　≤2×10-6/min
　　物鏡電流穩(wěn)定度
　　≤1×10-6/min
　　物鏡
　　物鏡焦距
　　1.9mm
　　2.3mm
　　2.7mm
　　球差系數(shù)
　　0.5mm
　　1.0mm
　　1.4mm
　　色差系數(shù)
　　1.1mm
　　1.4mm
　　1.8mm
　　小聚焦步長
　　1.0nm
　　1.4nm
　　1.8nm
　　束斑尺寸（直徑）
　　TEM　模式
　　2~5nm
　　EDS/D/CBD　模式
　　0.5~2.4nm
　　0.5~2.4nm
　　1.0~2.4nm
　　會聚束電子衍射（CBED）
　　會聚角（2a）
　　1.5~20　mrad
　　接受角
　　±10°
　　放大倍數(shù)
　　LOW　MAG　模式
　　×50~6，000
　　×50~6，000
　　×50~6，000
　　MAG　模式
　　×2，000~1，500，000
　　×2，000~1，500，000
　　×1，500~1，500，000
　　SA　MAG　模式
　　×8，000~800，000
　　×8，000~800，000
　　×6，000~800，000
　　相機長度
　　SA　DIFF模式
　　80~2，000mm
　　80~2，000mm
　　100~2，500mm
　　HD衍射模式
　　4~80m
　　HR衍射模式
　　333m
　　樣品室
　　X、Y方向樣品平移
　　2mm
　　Z方向樣品平移
　　±0.1mm
　　±0.2mm
　　±0.2mm
　　樣品傾斜角度
　　X；±25°
　　Y；±25°
　　X；±35°
　　Y：±30°
　　X；±42°
　　Y；±30°
　　掃描裝置（STEM）
　　明場像分辨率
　　0.2nm
　　X射線能譜分析
　　固體角（30/50mm2）
　　0.13sr/0.24sr
　　0.13sr/0.28sr
　　0.13sr/0.28sr
　　取出角（30/50mm2）
　　25°/22.3°
　　25°/24.1°
　　25°/25°