用途：該儀器專門用硅單晶棒定向測量，與我公司生產(chǎn)的YX-5Z／6Z及多線切割設(shè)備配套使用，特點(diǎn)是，測量晶向后直接計算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，并對偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計算出偏晶向的角度值。
結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。
計算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示小0.001度，測量±0.008度（±30′），能夠測量直徑3～8英寸，長450㎜，測量晶面為111、100等。
型號：YX-5D為雙測角儀，一邊定向計算，一邊測片（8英寸）。
YX-5DA為單測角儀，定向計算。
主要指標(biāo)：
晶棒直徑：3～8英寸
晶棒長度：450㎜
測量晶面：111、100
定向：0.008度（±30′）
小讀數(shù)：0.001度
射線窗口：電磁腳踏光閘
計算角度：α與β（X與Y）
結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。
計算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示小0.001度，測量±0.008度（±30′），能夠測量直徑3～8英寸，長450㎜，測量晶面為111、100等。
型號：YX-5D為雙測角儀，一邊定向計算，一邊測片（8英寸）。
YX-5DA為單測角儀，定向計算。
主要指標(biāo)：
晶棒直徑：3～8英寸
晶棒長度：450㎜
測量晶面：111、100
定向：0.008度（±30′）
小讀數(shù)：0.001度
射線窗口：電磁腳踏光閘
計算角度：α與β（X與Y）
