微小流量氣體混合儀
　　特點(diǎn)：微小流量氣體混合，高控制多種氣體混合比例，實(shí)現(xiàn)不同氣體比要求，氣路通道：1～8路（根據(jù)客戶(hù)需求設(shè)計(jì)）。
　　詳細(xì)介紹
　　◆工作壓力達(dá)3MPa
　　◆密封更
　　◆壽命更長(zhǎng)
　　◆經(jīng)濟(jì)型和精密型
　　一般特點(diǎn)
　　◆通用接頭，易安裝
　　◆結(jié)構(gòu)合理
　　◆使用范圍廣
　　◆氣體混合同比例可按要求調(diào)節(jié)
　　◆使用氣體種類(lèi)多（可達(dá)60多種）
　　◆B潔凈管道
　　特點(diǎn)性能
　　1.MFC工作壓力3MPa.（詳見(jiàn)產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)）
　　2.工作溫度5-50℃。
　　3.國(guó)際主流通用管連接方式。
　　4.316不銹鋼材質(zhì)。
　　5.閥門(mén)與介質(zhì)接觸部分的件材料為不銹鋼、聚四氟乙烯。
　　6.安裝方便。
　　結(jié)構(gòu)材料
　　注：切勿將件與其他制造廠生產(chǎn)的相混用或互換
　　氣體混合儀系統(tǒng)參數(shù)
　　氣體傳輸：2種氣體，Swagelok卡套連接
　　氣體類(lèi)型：NH3，CH4等
　　進(jìn)氣壓力：0.1-0.4MPA
　　控制閥動(dòng)作型式：常閉式
　　響應(yīng)時(shí)間（sec）：1S
　　工作壓差：0.05～0.5MPA
　　耐壓：3MPA
　　控制原理：質(zhì)量流量控制，每個(gè)出口單獨(dú)控制
　　流量：5SCCM，10SCCM，50SCCM
　　采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響
　　其他流速可選擇，其他氣體可選擇
　　準(zhǔn)確性：2%
　　數(shù)據(jù)：輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量（1個(gè)大氣壓，0度）
　　標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
　　標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
　　標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
　　
　　控制顯示方式：本地顯示控制