純氦氣凈化器是采用新型貴金屬合金凈化劑，與各種氣體反應(yīng)形成穩(wěn)定的化合物或固溶體，使氣體目的凈化的目的。
產(chǎn)品氣流量：1-3000Nm3／h
產(chǎn)品純度：99.999%-99.％
特點：本產(chǎn)品可現(xiàn)場再生，材料選用不銹鋼拋光材料，處理高，流量大，壽命10年以上，經(jīng)過凈化后的氣體可ppb級凈化。
適用范圍：微電子、半導體工業(yè)、半導體工藝設(shè)備、氣體分析、研發(fā)。
產(chǎn)品氣流量：1-3000Nm3／h
產(chǎn)品純度：99.999%-99.％
特點：本產(chǎn)品可現(xiàn)場再生，材料選用不銹鋼拋光材料，處理高，流量大，壽命10年以上，經(jīng)過凈化后的氣體可ppb級凈化。
適用范圍：微電子、半導體工業(yè)、半導體工藝設(shè)備、氣體分析、研發(fā)。
