SERI（小體積型）
　　概要
　　LF400系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制。
　　可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
　　產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
　　特點(diǎn)
　　模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器：
　　低單價(jià)
　　環(huán)境溫度補(bǔ)正
　　可應(yīng)用的流率范圍廣：
　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
　　高
　　±1%（≤15SLM）
　　±1.5%（＞15SLM.）
　　可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
　　國(guó)際兼容
　　應(yīng)用
　　工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。
　　氣體分析設(shè)備。
　　固定氣體流量控制。
　　氣體混合或分離設(shè)備
　　標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。