SERI（高型）
　　概要
　　LF400系列采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制。
　　可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
　　產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價(jià)格具有競爭力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
　　特點(diǎn)
　　模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：
　　環(huán)境溫度補(bǔ)正
　　可應(yīng)用的流率范圍廣：
　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
　　高
　　±1%（≤15SLM）
　　±1.5%（＞15SLM.）
　　可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
　　國際兼容
　　應(yīng)用
　　工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測/控制。
　　氣體分析設(shè)備。
　　固定氣體流量控制。
　　氣體混合或分離設(shè)備
　　標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
　　標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
　　標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
　　標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
　　輸入輸出
　　輸入設(shè)定電壓…………0～＋5.00V
　　輸出電壓檢測…………0～＋5.00V
　　型號
　　LF400-A  □  □  －  □□□  －  □□□  －  □  □  □
　　型式  A  模擬式
　　  B  數(shù)字式
　　功能    M  流量計(jì)
　　    C  流量控制器
　　流量范圍    ABC  
　　氣體種類    013  N2
　　    008  Air
　　    015  O2
　　    004  Ar
　　    025  CO2
　　    001  He
　　    FFF  其他
　　接頭  1/4"VCR  1  
　　  1/2"VCR  2  
　　  3　SWL  3  
　　  6　SWL  4  
　　  其他  F  
　　訊號  DC　0~5V  1  
　　  其他  2  
　　電源  DC＋/-15V  1
　　流量范圍是以mL/min，L/min　為單位
　　例：
　　5mL/min　表示為005
　　500mL/min表示為500
　　50　L/min（nor）表示為50L
　　規(guī)格（熱式）
　　功能  流量計(jì)/控制器
　　基本型號  LF400-A
　　滿量程流量范圍（N2）  SCCM  0～5，10，20，30，50，100，200，500
　　  SLM  0～1，2，3，5，10，15，20，30
　　（％F.S）  ±1（≤15SLM）
　　  ±1.5（＞15SLM.）
　　控制閥動(dòng)作型式  常閉式
　　線性（％F.S.）  ±0.5～1（≤15SLM）
　　  ±1.5％（＞15SLM.）
　　重復(fù)（％F.S.）  ±0.2
　　響應(yīng)時(shí)間（sec）  ≤1
　　流量輸出信號  0-5　V，RS232，485
　　流量設(shè)定信號  0-5　V，RS232，485
　　電器接頭  DB15　pin（接頭）
　　工作環(huán)境溫度  （℃）  5～45
　　工作壓差  （MPa）  0.05～0.5
　　漏率  SCCSHe  1×10-10
　　耐壓  3MPa
　　介質(zhì)接觸材質(zhì)  304，316，316L
　　密封材料  氟橡膠，硅橡膠，聚四氟乙烯
　　接頭尺寸  VCR　1/4、1/2
　　  Swagelok1/8"、1/4"、3/8"、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
　　電源要求  ＋15V，50mA；-15V，200mA