該系統(tǒng)利用花崗石平板相互垂直的兩個平面，作為高氣浮區(qū)。真空吸附滑塊在相互垂直的高氣浮區(qū)做無摩擦的高直線運動。
本機直線度0.5微米／800毫米。當環(huán)境條件（溫度、濕度、震動、氣源）理想狀態(tài)下，直線度會更高。
工作原理：通過平行移動儀器主機，與被測工件進行比較，記錄可微調(diào)的測量表的指示值，將數(shù)據(jù)輸入到計算機，計算出直線度。
測量結(jié)果，測量范圍可根據(jù)用戶需求制作，具有可轉(zhuǎn)方向、可微調(diào)的測量表夾持桿，可杠桿千分表、數(shù)顯表、電感測頭等。
本機直線度0.5微米／800毫米。當環(huán)境條件（溫度、濕度、震動、氣源）理想狀態(tài)下，直線度會更高。
工作原理：通過平行移動儀器主機，與被測工件進行比較，記錄可微調(diào)的測量表的指示值，將數(shù)據(jù)輸入到計算機，計算出直線度。
測量結(jié)果，測量范圍可根據(jù)用戶需求制作，具有可轉(zhuǎn)方向、可微調(diào)的測量表夾持桿，可杠桿千分表、數(shù)顯表、電感測頭等。
其他說明
| 指標： | ||||
| 序號 | 測量范圍 | 導軌 | 工作平臺 | 工作環(huán)境 |
| 1 | 1000mm | 2μm | 00級 | 恒溫恒濕 |
| 2 | 2000mm | 5μm | 00級 | 恒溫恒濕 |
| 3 | 3000mm | 8μm | 00級 | 恒溫恒濕 |
