高端精密成就卓越性能
　　
　　儀器特點(diǎn)
　　◆高端配置，精密全自動(dòng)測(cè)量，四軸CNC控制；
　　◆三軸THK精密線性滑軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng)；
　　◆Renishaw開(kāi)放式光柵尺，高、穩(wěn)定性好；
　　◆Navitar自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量；
　　◆全鼠標(biāo)、手柄操作，簡(jiǎn)單易用；
　　◆可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
　　◆自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高，可加裝接觸式測(cè)頭；
　　◆Vispec全自動(dòng)影像測(cè)量軟件（高端版）；
　　◆提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、332、432、442、542等。
　　
　　技術(shù)參數(shù)
　　
　　XY軸： E2＝（2.0＋L／300）µm　　
　　Z軸： E1＝（3.0＋L／200）µm　　
　　重復(fù)
　　XY軸： ＜2µm　　
　　Z軸： ＜3µm　　
　　速度：XY軸：200mm／S　　
　　Z軸： 100mm／S　　
　　光柵尺分辨率：1.0µm，0.5µm，0.1µm（可選）　　
　　CCD：SONY 1／2"CCD黑白／彩色　　
　　光源：輪廓光
　　LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)　　
　　表面光：6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段操控，256級(jí)亮度可調(diào)　　
　　同軸光：LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)　　
　　光學(xué)系統(tǒng)：Navitar 6.5：1可變倍，放大倍率29～163或58～326　　
　　軟件：Vispec測(cè)量軟件（高端版）　　
　　運(yùn)動(dòng)控制：自主的CNC直流伺服系統(tǒng)　　
　　保修期：1年　　
　　工作環(huán)境：溫度20℃±2℃，溫度變化＜2℃／hr，濕度30～80％　　
　　振動(dòng)＜0.002g，低于15Hz　　
　　電源：90～264VAC，47-63Hz，10Amp。

其他說(shuō)明

型號(hào)	量程（mm）	外部尺寸（mm）	重量（kg）	承重（kg）
VMU322	300×200×200	650×750×1100	140	25
VMU432	400×300×200	750×900×1100	180	25
VMU542	500×400×200	850×1050×1100	220	25