LF400-S氣體質(zhì)量流量計，氣體質(zhì)量流量控制器
　　氣體質(zhì)量流量控制器具有檢測流量同時控制流量的大小的功能，有文件稱呼為質(zhì)量流量計，但質(zhì)量流量計可能只是指檢測功能的質(zhì)量流量計，因此在定貨時請尊敬的用戶朋友你要注給我們的銷售工作人員說清楚，是需要控制流量大小且檢測流量的MFC還是只是檢測流量大小的MFM，這很重要?。?！
　　詳細介紹
　　氣體質(zhì)量流量控制器具有檢測流量同時控制流量的大小的功能，有文件稱呼為質(zhì)量流量計，但質(zhì)量流量計可能只是指檢測功能的質(zhì)量流量計，因此在定貨時請尊敬的用戶朋友你要注給我們的銷售工作人員說清楚，是需要控制流量大小且檢測流量的MFC還是只是檢測流量大小的MFM，這很重要?。。?
　　
　　概要
　　LF400系列采用溫度變化對應于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
　　氣體質(zhì)量流量控制器可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
　　我司產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。
　　特點
　　o　分別有模擬式熱質(zhì)式流量計/流量控制器：
　　-低單價，穩(wěn)定性能好。
　　-環(huán)境溫度補正
　　-氣體質(zhì)量流量控制器可應用的流率范圍廣，量程可選：
　　-0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　-0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
　　o　具有高
　　±1%（≤15SLM）
　　±1.5%（＞15SLM.）
　　o　可選用LF系列控制模塊控制氣體質(zhì)量流量控制器，它具有數(shù)位顯示、電源供應、流量設定等功能
　　o　國際兼容
　　應用
　　o　工業(yè)設施的氣體供應監(jiān)測/控制。
　　o　氣體分析設備。
　　o　固定氣體流量控制。
　　o　氣體質(zhì)量流量控制器同時應用于氣體混合或分離設備的流量控制?！?

其他說明

功能		流量計/控制器 ( 氣體 質(zhì)量流量控制器 )
基本型號		LF400-S
滿量程流量范圍(N 2 )	SCCM	0~5,10,20,30,50,100,200,500
	SLM	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
(%F.S)		&plun;1(≤15SLM)
		&plun;1.5(>15SLM.)
控制閥動作型式		常閉式
線性(%F.S.)		&plun;0.5~1(≤15SLM)
		&plun;1.5%(>15SLM.)
重復(%F.S.)		&plun;0.2
響應時間(sec)		≤1
流量輸出信號		0-+5.00V
流量設定信號		0-+5.00V
電器接頭		DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度	(℃)	5~45
工作壓差	(MPa)	0.1~0.5
漏率	SCCSHe	1*10 -9
耐壓		3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)		304,316,316L
密封材料		氟橡膠,硅橡膠,橡膠,聚四氟乙烯
接頭		VCR " 1/4,1/2
		Swagelok1/8",1/4" ,3/8" ,1/2"或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12mm
接頭和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127*28*100mm 1/4"VCR:127*28*100mm
電源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		1.0KG