我們生產(chǎn)的每一臺氣體質(zhì)量流量控制器都是由公司的技術(shù)工程做過仔細(xì)檢查且檢測通過的產(chǎn)品,用戶拿到手無需在做標(biāo)定便可,對于安裝的使用方面的問題我們技術(shù)員可以會天接收你的電話詢問,對于無法解決的關(guān)鍵性問題我們視情況確定如何為尊敬的用戶提供援助,我們會以你的利益為解決問題的執(zhí)行目標(biāo)。質(zhì)量流量控制器安
詳細(xì)介紹
我們生產(chǎn)的每一臺氣體質(zhì)量流量控制器都是由公司的技術(shù)工程做過仔細(xì)檢查且檢測通過的產(chǎn)品,用戶拿到手無需在做標(biāo)定便可,對于安裝的使用方面的問題我們技術(shù)員可以會天接收你的電話詢問,對于無法解決的關(guān)鍵性問題我們視情況確定如何為尊敬的用戶提供援助,我們會以你的利益為解決問題的執(zhí)行目標(biāo)。安裝會比較簡單,但是在這個過程中如果有任何問題也可以聯(lián)系我們技術(shù)員,他們會給你的解答!
概要
LF400系列氣體質(zhì)量流量控制器采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制。
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍,并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列完整,可選擇數(shù)字式,模擬式,普通,高,高壓力型,性能且價格具有競爭力,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
特點
o 模擬式熱質(zhì)式流量計/流量控制器(氣體質(zhì)量流量控制器):
-低單價
-高耐壓
-環(huán)境溫度補正
-可應(yīng)用的流率范圍廣:
-可選擇:
0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
-0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
o 氣體質(zhì)量流量控制器可選用LF系列控制模塊,具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
o 國際兼容
其他說明
| 功能 | 流量計/控制器( 氣體質(zhì)量流量控制器 ) | |
| 基本型號 | LF400-F | |
| 滿量程流量范圍(N 2 ) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
| SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| (%F.S) | &plun;1(≤15SLM) | |
| &plun;1.5(>15SLM.) | ||
| 控制閥動作型式 | 常閉式 | |
| 線性(%F.S.) | &plun;0.5~1(≤15SLM) | |
| &plun;1.5%(>15SLM.) | ||
| 重復(fù)(%F.S.) | &plun;0.2 | |
| 響應(yīng)時間(sec) | ≤1 | |
| 流量輸出信號 | 0-+5 DCV | |
| 流量設(shè)定信號 | 0-+5 DCV | |
| 電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
| 工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
| 工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1*10 -9 |
| 耐壓 | 10MPa | |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304,316,316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,橡膠,聚四氟乙烯 | |
| 接頭尺寸 | VCR 1/4,1/2 | |
| Swagelok1/8",1/4" ,3/8" ,1/2"或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12mm | ||
| 電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |








