臺面大?。?00*650mm
解析力標準:0.001mm
機臺重量:750kg(包括機架)
平面:3.5+5L/1000µm
影像放大倍率:20x-120x、30x-225x
示值(X、Y):3+5L/1000µm
光學放大倍率:0.65X-4.5X
工作行程(X/Y/Z):600*500*200mm、1000*800*200mm
外形尺寸(WxDxH):1250*808*1680mm
測量范圍(X*Y*Z):600*500*100mm
電源:220V、50±5HZ
工作臺承重:3-5KG均布
CCD:彩色1/3英寸高解析480TV線
測量理論:晶元光罩坐標系統(tǒng)








