設計特點：
　　壓電式控制閥
　　金屬密封結構
　　響應時間快
　　設計緊湊
　　316L／316SS 不銹鋼結構
　　&plun;1％
　　
　　P2000I 系列液體質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、控制的領域。其簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。的熱式測量系統(tǒng)提供的測量，同時液體溫度上升小于5度。的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體進行快速、穩(wěn)定的控制。P2000I 系列同時也包括有一個液體質量流量計，用于那些不需要進行流量控制的場合。
　　
　　D2000I 系列液體質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、控制的半導體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構（高純度和泄漏完整性）。的層流旁路和傳感器部件提供的測量，同時液體溫度上升5度，此外，D2000I 的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。液體流量計和控制器技術參數(shù)。
　　
　　流量范圍：P2000I 系列和D2000I 系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來標定的，在測量其它液體介質時需要乘以一個校正系數(shù)，具體請參考表一。
　　
　　響應時間：P2000I 系列：2s（設定點的2％之內）
　　D2000I 系列：＜1s（流量的5％之內）
　　和線性：&plun;1％滿量程（P2000I 系列）；&plun;1％讀數(shù)（D2000I 系列）
　　重復性：P2000I 系列：＜&plun;0.2％滿量程（任意連續(xù)溫度下）
　　D2000I 系列：＜&plun;0.2％讀數(shù)
　　量程比：P2000I 系列：50：1（2％-100％滿量程）
　　D2000I 系列：20：1（5％-100％滿量程）
　　操作溫度：40℃（104℉）
　　操作壓力：125PSIG
　　溫度系數(shù)：＜0.1％／℃，＞設定點輸入
　　流量輸出信號：0-5VDC／0-5VDC（輸出流量信號時：需小2KΩ電阻）
　　供電電源：﹢15VDC&plun;10％（電流消耗＜200mADC 時）
　　泄露率：1х10-9 ATM.CC／s He
　　預熱時間：10分鐘（P2000I 系列）；20分鐘（D2000I 系列）
　　電氣連接：9針D 型
　　入口／出口過程連接：1／8″Male VCR 或1／8″Swagelok
　　控制閥：壓電式常開
　　內置容積：＜0.71ml（P2000I 系列）；＜1ml（D2000I 系列）
　　重量：≤0.68Kg
　　結構材質
　　主體：316LSS
　　傳感器組件：316LSS
　　閥構成部件：316LSS（D2000I 系列）；302SS 和316LSS（P2000I 系列）
　　“O”型環(huán)：316LSS
　　
　　訂貨時須提供：
　　1、產(chǎn)品型號
　　2、設定點輸入／流量信號輸出
　　3、接口尺寸和類型
　　4、流量范圍
　　5、介質（液體類型）
　　6、工作溫度
　　7、入口壓力P1
　　8、出口壓力P2（流量計無須提供）
　　9、其它要求

其他說明

表一
IPA	流量范圍
(CCM)
液體介質校正系數(shù)
CupraSele	1.164
己烷	1.492
辛烷	1.532
OMS	1.927
TDEAT	1.258
TMP	1.357
四乙基原硅酸鹽	1.156
T	1.413
0.003-0.14
0.008-0.40
0.020-1.00
0.070-3.50
0.150-7.50
0.220-11.0
水	0.492