測(cè)量模式是通過(guò)無(wú)接觸力的激光束來(lái)探測(cè),重復(fù)可以1.5um,是目前光學(xué)測(cè)量顯微鏡Z軸測(cè)量的。
另外也可以選擇搭配 Auto Focuse 系統(tǒng)及Focusing Aid(對(duì)焦輔助)這次光學(xué)系統(tǒng)采用目前的裂像的方法來(lái)輔助操作員來(lái)對(duì)焦判定可降低人為的測(cè)定誤差,量測(cè)。
新式光學(xué)系統(tǒng),采用高光強(qiáng)白色LED或12V-50W鹵素?zé)魺粼矗髁燎逦?,?duì)黑色、深色表面不反光工件塑料、橡膠、碳化物金屬……等,亦可清晰
檢查、量測(cè)、應(yīng)用范圍廣泛載物臺(tái)行程可選擇50×50/100×50/100×100/150×100/200×150/250×150/300×200 7種
FA 對(duì)焦指示系統(tǒng), Z 軸量測(cè),減少人為視覺(jué)對(duì)焦誤差
Z 軸重現(xiàn) 1.5μm 以內(nèi)
可加裝照相及 CCD CAMERA 系統(tǒng)
可附加微電腦處理機(jī),并能與 PC 聯(lián)機(jī)
可加裝TTL激光AF(自動(dòng)對(duì)焦)
可加裝電動(dòng)Z軸移動(dòng)裝置








