搭載雙向分離工檢測器（半導(dǎo)測器+比例計(jì)數(shù)管）：搭載在X射線能量分辨率上，的半導(dǎo)測器（起作用液化氮）和計(jì)數(shù)率的比例計(jì)數(shù)管，能夠根據(jù)運(yùn)用需要對(duì)應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)測器，能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn)：1.能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進(jìn)行測定。2.對(duì)于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進(jìn)行高的Au鍍膜厚度測定。　　　3.能夠測定0.01μm以下薄的Au鍍膜。4.薄膜FP軟件：對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域。5.適用測定微小部分,15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度?！　?.搭載75WX射線管。7.容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。8.能夠測定大型打印基板的大型平臺(tái)。9.依據(jù)照明，能夠觀察以往觀察的樣品。10.搭載了有凹凸的樣品碰撞的傳感器。11.利用伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。12.正確的對(duì)焦,利用激光能夠正確得對(duì)焦測試樣品。13.制作軟件,運(yùn)用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數(shù)據(jù)制作成書面材料。