布魯克 Dektak XT 臺階儀(探針式表面輪廓儀)是一項(xiàng)性的設(shè)計(jì),可以提供的重現(xiàn)性,重現(xiàn)性低于5Å。臺階儀這項(xiàng)性能的了過去40年Dektak技術(shù)的,更加鞏固了其行業(yè)。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品,Dektak XT實(shí)現(xiàn)了性能。操作簡易,從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術(shù)到第十代Dektak XT臺階儀,能夠在微電子,半導(dǎo)體,亮度發(fā)光二管(LED)、、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級表面形貌測量。
Dektak XT 技術(shù)參數(shù):
1. 臺階高度重復(fù)性5Å
2. 單拱(Single-arch)設(shè)計(jì)大大了掃描穩(wěn)定性
3. 前置敏化器件,降低了噪音對測量的干擾
4. 新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力了40%
5. 64-bit,Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,使數(shù)據(jù)分析速度了十倍。
6. 功能卓越,操作簡易
7. 直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行
8. 針尖自動校準(zhǔn)系統(tǒng)讓用戶更換針尖是難事
9. 臺階儀(表面輪廓儀)領(lǐng)域無可撼動的
10. 單傳感器設(shè)計(jì)提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍




