產(chǎn)品簡介
NCS-R80無接觸厚度電阻率測試儀是一款用于硅片的厚度、電阻率測量的儀器，該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料，的設(shè)計都合ASTM(美國材料實驗協(xié)會)和Semi標(biāo)準(zhǔn)，與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
特征
■無接觸傷測量
■電阻率和厚度同時測量
■適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料
■電腦觸摸屏顯示
■干擾強，穩(wěn)定性好
■強大的工控機控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量
技術(shù)指標(biāo)
■測試尺寸：50mm- 300mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
■厚度測試：+/-0.25um
■厚度重復(fù)性：0.050um
■TTV測試: +/-0.05um
■TTV重復(fù)性: 0.050um
■電阻率測試范圍：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■電阻率測試：+/- 2%
■電阻率測量重復(fù)：+/- 1%
■晶圓硅片導(dǎo)電型號：P 或 N型
■材料：Si，GaAs，InP，Ge等幾乎半導(dǎo)體材料
■可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測等
■平面/缺口：的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口
■硅片安裝：裸片，藍(lán)寶石/石英基底，黏膠帶
■連續(xù)5點測量
應(yīng)用范圍
>切片
>>線鋸設(shè)置
>>>厚度
>>>總厚度變化TTV
>>>電阻率
>>監(jiān)測
>>>導(dǎo)線槽
>>>刀片更換
>磨片/刻蝕和拋光
>>過程監(jiān)控
>>厚度
>>總厚度變化TTV
>>材料去除率
>研磨
>>材料去除率
>終檢測
>>抽檢或全檢
>>終檢厚度
>>終檢電阻率
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