Lasair II-10 是款1.0 CFM流量的激光二管粒子計(jì)數(shù)器,能夠監(jiān)測(cè)0.1um粒子。這款計(jì)數(shù)器的功能,監(jiān)測(cè)精準(zhǔn)度高,性能穩(wěn)定,使用成本低,使用壽命長(zhǎng),并帶有3年激光部件保修。
優(yōu)點(diǎn)
降低缺陷率
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)導(dǎo)致制程缺陷的粒子變化
使用移動(dòng)式計(jì)數(shù)器定位粒子污染源
排除多管采樣的常見(jiàn)漏計(jì)錯(cuò)誤
附件配備,適用于多種應(yīng)用
0.1um粒子監(jiān)測(cè)效率高于傳統(tǒng)設(shè)備
生產(chǎn)效率
存儲(chǔ)/導(dǎo)出采樣方案,節(jié)省潔凈室時(shí)間
通過(guò)辦公室電腦和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制潔凈室監(jiān)測(cè):
設(shè)置,采樣,顯示,打印,數(shù)據(jù),上傳采樣方案等
噪音小,有利于工作環(huán)境
可選擇9種語(yǔ)言顯示和打印
合ISO,FS或英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)算統(tǒng)計(jì)和
同F(xiàn)acility Net 軟件整合,用于數(shù)據(jù)管理
告訴數(shù)據(jù)至EXCEL ,PDA 或U存儲(chǔ)器
成本低
使用同一臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行ISO Cl 1-9 應(yīng)用
無(wú)需頻繁清洗激光部件
泵的使用壽命長(zhǎng),無(wú)需每年更換葉片
容擦拭,設(shè)計(jì)有利于將粒子截留建至少
合A/D標(biāo)準(zhǔn)的KYDEX機(jī)殼,結(jié)實(shí),化學(xué)腐蝕
低溫激光二管使用壽命更長(zhǎng);激光部件保修3年
性能
激光二管
功能,噪音小,使用方便
6個(gè)粒徑通道:0.1-5.0um
可存儲(chǔ)多達(dá)3000套樣本參數(shù),可進(jìn)行數(shù)據(jù)審核,分檢,過(guò)濾,打印
U數(shù)據(jù)至閃存卡鍵
內(nèi)置熱敏打印機(jī)
彩色液晶大顯示屏:視覺(jué)效果佳,數(shù)據(jù)顯示量大
安靜的無(wú)碳鼓風(fēng)機(jī)/泵;泵和機(jī)柜排氣過(guò)濾
可整合多達(dá)6個(gè)環(huán)境傳感器
可選購(gòu)適用于ISO 1-4 級(jí)潔凈度的過(guò)濾器
可選購(gòu)供8小時(shí)連續(xù)移動(dòng)使用的電池/充電器
應(yīng)用
潔凈室監(jiān)測(cè)
高靈敏度應(yīng)用
滿足ISO,F(xiàn)S 或英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)施








