半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀采用X射線管和高壓電源。X射線管裝在一個(gè)抽真空后注滿油的全密封的油箱中緣和良好冷卻，高壓等級(jí)根據(jù)所造型號(hào)不同有所區(qū)別，加上傳感器具有的溫度自動(dòng)保護(hù)與報(bào)警功能，了X射線管的穩(wěn)定性和使用壽命。模塊化設(shè)計(jì)、免維護(hù)設(shè)計(jì)方案及規(guī)范的制造了設(shè)備系統(tǒng)高性。
半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀檢測(cè)器。X射線檢測(cè)器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓（通常幾百伏）。當(dāng)X射線光子射到光電管的陰時(shí)產(chǎn)生電子，在陰電壓的作用下，把陰的每個(gè)電子（假設(shè)每放大n個(gè)電子）增加到d (d為數(shù)）個(gè)電子，即放大管電流，終到達(dá)陽(yáng)，然后通過(guò)前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。
半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀應(yīng)用范圍
* 測(cè)量鍍層,涂層,薄膜,液體的厚度或組成,測(cè)量范圍從17(Cl)到92(U);
* 5 層 (4 鍍層 + 基材) / 24 元素 / 共存元素校正;
* 組成成分分析時(shí)可同時(shí)測(cè)定24種元素;
* 鍍液中元素含量分析;
* 元素光譜定性分析;
* 基材分析;
生產(chǎn)商及儀器型號(hào)：
制造商：美國(guó)BOWMAN公司
原產(chǎn)地：美國(guó)
型 號(hào)：BA 100
