X-RAY膜厚測(cè)試儀檢測(cè)器。X射線檢測(cè)器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓(通常幾百伏)。當(dāng)X射線光子射到光電管的陰時(shí)產(chǎn)生電子,在陰電壓的作用下,把陰的每個(gè)電子(假設(shè)每放大n個(gè)電子)增加到d (d為數(shù))個(gè)電子,即放大管電流,終到達(dá)陽(yáng),然后通過(guò)前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。
X-RAY膜厚測(cè)試儀1.準(zhǔn)值儀4種孔徑內(nèi)藏式
儀器測(cè)量直徑小可150微米??晒┻x擇的準(zhǔn)直器直徑
有0.1、0.2、0.3和1.5毫米。
2.自動(dòng)測(cè)定測(cè)量臺(tái)
利用滑鼠來(lái)調(diào)整測(cè)量位置,敏捷快速。自動(dòng)聚焦,或是測(cè)量位置已完成登陸時(shí),可連續(xù)自動(dòng)測(cè)定,利用座標(biāo)補(bǔ)正、連結(jié)頻道,來(lái)應(yīng)付各種測(cè)量軌跡。亦可用自動(dòng)測(cè)定來(lái)作標(biāo)準(zhǔn)片校正。
3.的機(jī)能
配有功率X射線光管和高靈敏度探測(cè)器,能夠滿足復(fù)雜樣品和微小測(cè)試面積的檢測(cè)需求。
4.測(cè)定部顯示盡像的表示
X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準(zhǔn)儀照射測(cè)定物的位置,可由倍率更機(jī)能來(lái)實(shí)現(xiàn)盡面上測(cè)出物放大。
5.在膜厚測(cè)定中的能譜表示
由多頻分析器可快速處理能譜分析??蓤?zhí)行測(cè)定物的能譜分析表示,操作簡(jiǎn)單。
提長(zhǎng)資料處理的速度
6.充實(shí)測(cè)量的作成機(jī)能
采用MS-WINDOW軟件,測(cè)定畫的擷取,簡(jiǎn)便,可充襯測(cè)量的制作機(jī)能??赏瑫r(shí)間隔處理多項(xiàng)工作,機(jī)器在測(cè)量中亦可處理其他工作:包括如測(cè)量的制作。
7.測(cè)定物膜厚附著分布表示
以三次元圖案來(lái)表示測(cè)定物膜厚附著狀態(tài)的分布,作判定時(shí)一目了然。
自己診斷機(jī)能及X線管保食機(jī)能
自己診斷機(jī)能,的對(duì)策來(lái)排除機(jī)器的因擾。附有X線管的使用時(shí)間及耐久時(shí)間表示機(jī)能,可加強(qiáng)保食的性。









