x熒光膜厚儀采用X射線管和高壓電源。X射線管裝在一個(gè)抽真空后注滿油的全密封的油箱中緣和良好冷卻，高壓等級(jí)根據(jù)所造型號(hào)不同有所區(qū)別，加上傳感器具有的溫度自動(dòng)保護(hù)與報(bào)警功能，了X射線管的穩(wěn)定性和使用壽命。模塊化設(shè)計(jì)、免維護(hù)設(shè)計(jì)方案及規(guī)范的制造了設(shè)備系統(tǒng)高性。
x熒光膜厚儀檢測(cè)器。X射線檢測(cè)器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓（通常幾百伏）。當(dāng)X射線光子射到光電管的陰時(shí)產(chǎn)生電子，在陰電壓的作用下，把陰的每個(gè)電子（假設(shè)每放大n個(gè)電子）增加到d (d為數(shù)）個(gè)電子，即放大管電流，終到達(dá)陽(yáng)，然后通過(guò)前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。
x熒光膜厚儀可測(cè)元素范圍：鋁(AL) –鈾(U)。
可測(cè)量厚度范圍：原子序22-25，0.1-0.8μm26-40，0.05-35μm43-52，0.1-100μm72-82，0.05-5μm。
自動(dòng)測(cè)量功能：編程測(cè)量，自定測(cè)量修正，測(cè)量功能。
底材修正：已知樣品修正。
定性分析功能：光譜表示，光譜比較。
定量分析功能：合金成份，分析數(shù)據(jù)。
