x射線(xiàn)膜厚儀檢測(cè)器。X射線(xiàn)檢測(cè)器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓(通常幾百伏)。當(dāng)X射線(xiàn)光子射到光電管的陰時(shí)產(chǎn)生電子,在陰電壓的作用下,把陰的每個(gè)電子(假設(shè)每放大n個(gè)電子)增加到d (d為數(shù))個(gè)電子,即放大管電流,終到達(dá)陽(yáng),然后通過(guò)前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。
x射線(xiàn)膜厚儀1,可以測(cè)量多層膜中每一層的厚度
2,三維的厚度型貌
3,遠(yuǎn)程控制和在線(xiàn)測(cè)量
4,可做150mm or 300mm 的大范圍的掃描測(cè)試
5,豐富的材料庫(kù):操作軟件的材料庫(kù)帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù),基本上的常用材料都包括在這個(gè)材料庫(kù)中.用戶(hù)也可以在材料庫(kù)中輸入沒(méi)有的材料.
6,軟件操作簡(jiǎn)單,測(cè)速快:膜厚測(cè)量?jī)x操作簡(jiǎn)單,測(cè)量速度快:100ms-1s.
7,軟件帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能,可對(duì)單/多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì).
8,軟件帶有可升級(jí)的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測(cè)試,并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級(jí)功能還包括在線(xiàn)分析軟件,遠(yuǎn)程控制模塊等.









