膜厚測(cè)量?jī)x采用X射線管和高壓電源。X射線管裝在一個(gè)抽真空后注滿油的全密封的油箱中緣和良好冷卻，高壓等級(jí)根據(jù)所造型號(hào)不同有所區(qū)別，加上傳感器具有的溫度自動(dòng)保護(hù)與報(bào)警功能，了X射線管的穩(wěn)定性和使用壽命。模塊化設(shè)計(jì)、免維護(hù)設(shè)計(jì)方案及規(guī)范的制造了設(shè)備系統(tǒng)高性。
膜厚測(cè)量?jī)x檢測(cè)器。X射線檢測(cè)器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓（通常幾百伏）。當(dāng)X射線光子射到光電管的陰時(shí)產(chǎn)生電子，在陰電壓的作用下，把陰的每個(gè)電子（假設(shè)每放大n個(gè)電子）增加到d (d為數(shù)）個(gè)電子，即放大管電流，終到達(dá)陽(yáng)，然后通過(guò)前置放大器把管電流放大并轉(zhuǎn)換成電壓形式。
膜厚測(cè)量?jī)x利用螢光X射線得到物質(zhì)中的元素信息(組成和鍍層厚度)的螢光X射線法原理。和螢光X射線分析裝置一樣被使用的X射線衍射裝置是利用散亂X射線得到物質(zhì)的結(jié)晶信息(構(gòu)造)。而透過(guò)X射線多用于拍攝透視照片。另外也用于機(jī)場(chǎng)的貨物檢查。象這樣根據(jù)想得到的物質(zhì)信息而定X射線的種類。
膜厚測(cè)量?jī)xX射線的能量穿過(guò)金屬鍍層的同時(shí)，金屬元素其電子會(huì)反射其穩(wěn)定的能量波譜。通過(guò)這樣的原理，我們?cè)O(shè)計(jì)出：膜厚測(cè)試儀也可稱為膜厚測(cè)量?jī)x，又稱金屬涂鍍層厚度測(cè)量?jī)x，其不同之處為其即是薄膜厚度測(cè)試儀，也是薄膜表層金屬元素分析儀，因響應(yīng)工藝準(zhǔn)則，故目前市場(chǎng)上普遍使用的都是薄膜X射線熒光鍍層測(cè)厚儀。
