*同M3500的讀數(shù)頭一樣,Z向高度有8.2mm
*分辨率1.2nm
?。?xì)分誤差低——玻璃光柵尺只有±20nm——其他品牌的20μm編碼器
*傳感器接頭上的LED指示燈實(shí)時(shí)顯示信號(hào)強(qiáng)度、限位狀態(tài)
?。x數(shù)頭能耗低,只有250mW
?。獢?shù)字信號(hào)輸出:A-quad-B,位、限位、報(bào)警信號(hào)或者串行接口
?。x數(shù)頭適用于大氣環(huán)境或真空環(huán)境
對(duì)MII6000來說,MII5000的性能和特點(diǎn):金屬光柵尺或玻璃光柵尺、線性或旋動(dòng)、雙限位、差分輸出、周期誤差、等等,它適用。








