原裝MYCRO掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，包含EM-5026M1，EM-5086，EM-5026B，EM-5026AM四個(gè)型號(hào)，是的光刻系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域；并且該系列的掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)已經(jīng)被眾多企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校采用，作為他們光掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)作為光刻系統(tǒng)，重要的技術(shù)在于以下兩個(gè)方面：掩模-晶圓片對(duì)準(zhǔn)，以及將掩模版上的圖案復(fù)制到晶圓片上，為下一步進(jìn)行可是或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。作為他們光刻系統(tǒng)的；其的技術(shù)、精湛的工藝和良好的服務(wù)，了廣大用戶(hù)的青睞。
　　MYCRO掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)/光刻系統(tǒng)的曝光方式，是采用可調(diào)節(jié)壓力的接觸式曝光，降低了光刻膠對(duì)掩模版的污染以及掩模版的磨損，從而掩模版的壽命。因此，MYCRO紫外曝光機(jī)/光刻系統(tǒng)以其高的性?xún)r(jià)比而讓人印象深刻。
　　
　　掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)/光刻系統(tǒng)的組件主要包含：
　　紫外光源構(gòu)造
　　帶托盤(pán)的晶片工作臺(tái)
　　配CCD鏡頭的顯微鏡
　　器
　　掩膜夾具
　　紫外光源透鏡
　　紫外光源鏡片
　　紫外燈電源系統(tǒng)
　　操作控制器
　　350W紫外燈
　　
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