NS是一款用于線性測量的精密干涉編碼器測量系統(tǒng)。它可以避免激光干涉儀經(jīng)常會遇到的湍流效應(yīng)，同時提供納米級可重復(fù)性和分辨率。NS兼容大多數(shù)現(xiàn)有的設(shè)計平臺。
概述

　　　NS傳感器是一款采用二管光源的的電子設(shè)備。它用三相90-element的探測器通過掃描方式捕捉階的激光通過衍射方式反射過來的信號，經(jīng)過高度準確的插值方法和編碼器對反射不敏感的條件下，這三個信號提供一個明確的測量相位。

應(yīng)用領(lǐng)域

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高的位置控制；

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實時校準；

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精密金剛石車削實驗室；

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鏡頭自動對焦；

主要特點

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亞納米的分辨率；

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對湍流和大氣壓力的變化不敏感；

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重復(fù)性≤5nm；

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兼容性好，不需要更換主要設(shè)計就可以替換現(xiàn)有的計量系統(tǒng)；

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占地面積小，重量輕；

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可選真空版本；

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對準誤差低；

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完善的技術(shù)支持；可定制；

   


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