多軸精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)?。翰捎弥苯域?qū)動(dòng)電機(jī)，無(wú)絲杠傳動(dòng)，全伺服驅(qū)動(dòng)。微光柵編碼器作為信號(hào)反饋機(jī)制，有多種結(jié)構(gòu)形式，重復(fù)定位1微米到10微米，行程可定制。
支承系統(tǒng)可選空氣軸承、滾珠導(dǎo)軌、滾柱軸承等。速度快，速度5米／秒（300米／分），加速度大，加速度1G到10G可選。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備、精密測(cè)試測(cè)量、電子設(shè)備、數(shù)控機(jī)床、MEMS、設(shè)備等。
支承系統(tǒng)可選空氣軸承、滾珠導(dǎo)軌、滾柱軸承等。速度快，速度5米／秒（300米／分），加速度大，加速度1G到10G可選。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備、精密測(cè)試測(cè)量、電子設(shè)備、數(shù)控機(jī)床、MEMS、設(shè)備等。
