CMS系列真空高溫管式爐專門設(shè)計(jì)用于高溫工藝,如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結(jié)等等。窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫,優(yōu)質(zhì)微波源加熱,優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,系統(tǒng)可預(yù)抽真空,氣體采用浮子流量計(jì)控制。單回路智能溫度控制儀控制,設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),是理想的科研設(shè)備一、技術(shù)指標(biāo):
設(shè)備型號(hào) NT-CVD(G)-08/50/1
溫區(qū)溫度 1650℃;(長(zhǎng)恒溫時(shí)間:≥10小時(shí));
加熱容積 Φ72(內(nèi)經(jīng))×500mm;恒溫區(qū)尺寸:Φ72(內(nèi)經(jīng))×250mm
爐管實(shí)際尺寸 Φ80(外徑)×1400mm(國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管)
爐膛材料 氧化鋁纖維制品
控制溫區(qū)點(diǎn)數(shù) 1個(gè),1支B分度熱偶
設(shè)備溫場(chǎng)溫差 ±1℃,
加熱元件 優(yōu)質(zhì)微波源
加熱功率 4Kw
保溫功率 1kw
升溫速率 10℃∽120℃/min;
降溫速率 3℃∽7℃/min
溫度均勻性 ±3℃(范圍:Φ72×250mm)
氣路配件材料 氣路配件材料,端頭不銹鋼發(fā)蘭密封,一路氣體采用浮子流量計(jì)控制,管道和閥門采用不銹鋼元件
限真空 ≤10Pa(常溫),機(jī)械泵(配電磁閥)。
壓升率 ≤5Pa/h
試驗(yàn)/實(shí)驗(yàn)用微波真空高溫管式爐








