試驗(yàn)/實(shí)驗(yàn)用微波真空高溫管式爐
　　CMS系列真空高溫管式爐專門設(shè)計(jì)用于高溫工藝，如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，優(yōu)質(zhì)微波源加熱，優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛，系統(tǒng)可預(yù)抽真空，氣體采用浮子流量計(jì)控制。單回路智能溫度控制儀控制，設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備一、技術(shù)指標(biāo)：
　　設(shè)備型號(hào)  NT-CVD（G）-08/50/1
　　溫區(qū)溫度  1650℃；（長(zhǎng)恒溫時(shí)間：≥10小時(shí)）；
　　加熱容積  Φ72（內(nèi)經(jīng)）×500mm；恒溫區(qū)尺寸：Φ72（內(nèi)經(jīng)）×250mm
　　爐管實(shí)際尺寸  Φ80（外徑）×1400mm（國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管）
　　爐膛材料  氧化鋁纖維制品
　　控制溫區(qū)點(diǎn)數(shù)  1個(gè)，1支B分度熱偶
　　設(shè)備溫場(chǎng)溫差  ±1℃，
　　加熱元件  優(yōu)質(zhì)微波源
　　加熱功率  4Kw
　　保溫功率  1kw
　　升溫速率  10℃∽120℃/min；
　　降溫速率  3℃∽7℃/min
　　溫度均勻性  ±3℃（范圍：Φ72×250mm）
　　氣路配件材料  氣路配件材料，端頭不銹鋼發(fā)蘭密封，一路氣體采用浮子流量計(jì)控制，管道和閥門采用不銹鋼元件
　　限真空  ≤10Pa（常溫），機(jī)械泵（配電磁閥）。
　　壓升率  ≤5Pa/h
　　試驗(yàn)/實(shí)驗(yàn)用微波真空高溫管式爐