技術(shù)參數(shù)：SJ-210
X 軸（驅(qū)動部）
測量范圍： 17.5，5.6mm（橫向驅(qū)動部型）測量速度： 0.25，0.5，0.75mm/s 1mm/s（返回）檢出器
范圍： 360μm（-200μm-＋160μm）
檢測方法： 有軌測量
測力： 0.75mN 或 4mN
測針針尖： 金剛石，90o/5μmR
（60o/2μmR
導(dǎo)頭曲率半徑： 40mm 導(dǎo)頭壓力： 小于 400mN 類型： 差動電感式
電源： 通過 AC 適配器／可充電鎳氫電池充電時間： 大約 4小時（取決于環(huán)境溫度）耐用性： 大約 1000次測量（根據(jù)使用條件/
環(huán)境不同會有微小的出入）
外部 I/O： U I/F，數(shù)顯輸出，打印機輸出，RS-232C I/F，腳踏開關(guān) I/F
數(shù)據(jù)存儲： 記憶卡（選件 12AAL069）
尺寸（WxDxH）
控制器： 52.1 x 65.8 x 160mm
驅(qū)動部： 115 x 23 x 26mm
重量： 大約 0.5kg（控制器＋驅(qū)動部＋標準檢出器）
X 軸（驅(qū)動部）
測量范圍： 17.5，5.6mm（橫向驅(qū)動部型）測量速度： 0.25，0.5，0.75mm/s 1mm/s（返回）檢出器
范圍： 360μm（-200μm-＋160μm）
檢測方法： 有軌測量
測力： 0.75mN 或 4mN
測針針尖： 金剛石，90o/5μmR
（60o/2μmR
導(dǎo)頭曲率半徑： 40mm 導(dǎo)頭壓力： 小于 400mN 類型： 差動電感式
電源： 通過 AC 適配器／可充電鎳氫電池充電時間： 大約 4小時（取決于環(huán)境溫度）耐用性： 大約 1000次測量（根據(jù)使用條件/
環(huán)境不同會有微小的出入）
外部 I/O： U I/F，數(shù)顯輸出，打印機輸出，RS-232C I/F，腳踏開關(guān) I/F
數(shù)據(jù)存儲： 記憶卡（選件 12AAL069）
尺寸（WxDxH）
控制器： 52.1 x 65.8 x 160mm
驅(qū)動部： 115 x 23 x 26mm
重量： 大約 0.5kg（控制器＋驅(qū)動部＋標準檢出器）
