產(chǎn)品參數(shù)：
　　儀器尺寸 585mm（W）x 470mm（D）x 410mm（H）
　　包裝尺寸 725mm W x 660mm D x 680mm H（36.8kg）
　　工作腔室硼硅酸鹽玻璃152mm（內(nèi)直徑）x 127mm H
　　鐘罩聚乙烯對(duì)苯二酸，柱形
　　顯示屏彩色液晶320 x 240
　　用戶(hù)界面直觀的圖形界面，觸摸鍵。記憶功能：維護(hù)提醒及后十個(gè)鍍膜方案日志記錄
　　重量 28.4Kg
　　樣品臺(tái)直徑為50 mm的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，上有6個(gè)樣品座，可配15mm，10mm，6.5mm或者3.1mm樣本座，轉(zhuǎn)速為8-20rpm

　　真空泵 Edwards RV3 50L/s兩級(jí)真空泵，Pirani 真空計(jì)
　　限真空度潔凈系統(tǒng)可達(dá) 2x10-2 mbar，充氮?dú)?
　　噴鍍真空范圍 3 x 10-2-5 x 10-1mbar
　　安培計(jì)碳繩：0-60 AMPS，1.4mm＆Oslash；碳棒：1-90 AMPS
　　提供3個(gè)版本的儀器：
　　EMS150R S–噴金儀/離子濺射儀（適用于真空噴鍍非氧化型金屬，如金，鉑，鈀等）EMS150R E–噴碳儀/碳蒸鍍儀（適用于真空噴鍍碳膜，適用于SEM）
　　EMS150R –真空鍍膜儀（離子濺射儀和碳蒸鍍儀的結(jié)合體）