純凈膜片式瓶閥是針對半導(dǎo)體行業(yè)共同研究開發(fā)的新產(chǎn)品。捷銳從英國引進該項技術(shù)，為中國半導(dǎo)體行業(yè)提供了一項的產(chǎn)品，填補了目前市場的空白。
　　
　　特性
　　
　　•有手動和氣動兩種閥，二者基于同一母體設(shè)計。
　　•適用于大多數(shù)特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體如和氯化氫等。
　　•在合純標準的潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)制造，終的裝配和測試是在10級室中進行。
　　•針對有低泄漏率要求的高純氣體用戶設(shè)計。
　　•每個閥門都采用氦氣質(zhì)譜儀檢測泄漏率。
　　•膜片直接作用于閥座關(guān)閉閥門，光滑過渡的膜片設(shè)計可以將氣體流道角減至小。
　　•閥座的支撐和緊固設(shè)計，可以將高壓負載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的量減至小。
　　•膜片為一體式無焊接結(jié)構(gòu)，隔離了氣體和機械運動部件，了使用壽命。
　　•為脫落的顆粒物污染，在氣體流道中不存在任何滑動，旋轉(zhuǎn)或摩擦部件。
　　•進氣口呈喇叭型，增強氣體流通，便于清潔和吹掃凈化。
　　•進出口端形式適合已知的行業(yè)標準；閥門也同樣適用于市場上各種流體。
　　•手輪可用金屬絲鎖定。
　　•執(zhí)行器能夠被鎖定在關(guān)閉位置，以運輸過程中的震動，導(dǎo)致泄漏。
　　•手動和氣動兩種形式均適合用標準閥門保護管帽。
　　•出口端采用帶鏈條的管帽密封和保護。
　　•閥門裝置包含性能的二次密封。
　　•母體帶有“π”標記表示通過歐盟的TPED
　　
　　技術(shù)說明
　　
　　•工作壓力：230bar（3300psi）
　　•適用氣體：工業(yè)和特種氣體（包括有毒氣體和腐蝕氣體和氧氣）
　　•孔徑：4mm
　　•CV值：0.3
　　•工作溫度：-20至65°C
　　•閥體泄漏率：1x10-9 mbar l／s（200bar He）
　　•閥座泄漏率：小于1x10-8 mbar l／s（200bar He）
　　
　　材料
　　
　　•母體：316L VAR stainless steel，Hastelloy C22，Monel，Nickel
　　•閥座：PTCFE，Kynar 740，Vespel SP21 or Zytel 103（Nylon）
　　•膜片：Elgiloy
　　
　　閥門氣體流道內(nèi)潤滑。閥座選用氣體相容性小的材料。有關(guān)材料選擇方面的問題請聯(lián)系我們。
　　
　　執(zhí)行器說明
　　
　　•常閉設(shè)計的氣動執(zhí)行器通用于的鋼瓶閥。在驅(qū)動氣源供氣時閥門打開，在彈簧的作用下閥門關(guān)閉。旋轉(zhuǎn)閥套可以將閥門鎖定在關(guān)閉位置。
　　•驅(qū)動壓力：5 to 8bar（70 to 120psi）
　　•驅(qū)動介質(zhì)：空氣或氮氣
　　•進氣接口：1／8"NPT
　　•結(jié)構(gòu)材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽化鋁合金