PV-2000系列無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)為太陽能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（總厚度變化）TTV、翹曲及無接觸電阻率測(cè)量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)輸接口及基于Windows的控制軟件，用以進(jìn)行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。
　　產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　■使用MTI Instruments的推/拉電容探針技術(shù)
　　■每套系統(tǒng)提供多三個(gè)測(cè)量通道
　　■可進(jìn)行、小、平均厚度測(cè)量和TTV測(cè)量
　　■可進(jìn)行翹曲度測(cè)量（需要3探頭）
　　■用激光傳感器進(jìn)行線鋸方向和深度（可選）
　　■集成數(shù)據(jù)采集和電氣控制系統(tǒng)
　　■為工廠測(cè)量提供快速以太網(wǎng)通訊接口，速率為每秒5片
　　■可增加的直線厚度掃描數(shù)量
　　■與現(xiàn)有的硅片處理設(shè)備有數(shù)字I/O接口
　　■基于Windows的控制軟件提供離線和在線的數(shù)據(jù)監(jiān)控
　　■提供標(biāo)準(zhǔn)及客戶定制的探頭
　　■提供基于Windows的動(dòng)態(tài)鏈接庫用于與控制電腦集成
　　■無接觸，用渦電流法測(cè)量硅片電阻率
　　
　　技術(shù)參數(shù)：
　　■晶圓硅片測(cè)試尺寸：50mm-300mm.
　　■厚度測(cè)試范圍：1.7mm，可擴(kuò)展到2.5mm.
　　■厚度測(cè)試：＋/-0.25um
　　■厚度重復(fù)性：0.050um
　　■測(cè)量點(diǎn)直徑：8mm
　　■TTV 測(cè)試：＋/-0.05um
　　■TTV重復(fù)性：0.050um
　　■彎曲度測(cè)試范圍：＋/-500um［＋/-850um］
　　■彎曲度測(cè)試：＋/-2.0um
　　■彎曲度重復(fù)性：0.750um
　　■電阻率測(cè)量范圍：0.1-50ohm-cm
　　■電阻率測(cè)量：2%
　　■電阻率測(cè)量重復(fù)：1%
　　■晶圓硅片類型：?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч?
　　■可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測(cè)等
　　■平面/缺口：的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口
　　■連續(xù)5點(diǎn)測(cè)量