VS系列全自動氦質(zhì)譜檢漏儀是一款精良的寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，它含有渦輪分子高真空泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作員界面，以及可選功能組件。VS MR15x 和 VS MD30x型號檢漏儀可選用雙輪車。檢漏儀型號都適用于 100/115 VAC 和 230 VAC
應(yīng)用領(lǐng)域：
VS系列全自動氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于工業(yè)真空爐、鍍膜系統(tǒng)、電子束焊接設(shè)備；電廠冷凝器、熱交換器、蒸汽管線、地下沖壓電纜；物理同步加速器、束線、同步輻射光源；電子掃描顯微鏡、半導體加工、薄膜制備、質(zhì)譜分析、真空電子管、激光加工等領(lǐng)域。
特點：
※多種語言和計量單位選擇，可選中文界面
※135o電離偏轉(zhuǎn)（自然聚焦點）的質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)
※新的電子線路及信號處理設(shè)計
※小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程
※快速清氦和快速響應(yīng)
※測試口耐壓高，可實現(xiàn)大漏檢漏
應(yīng)用領(lǐng)域：
VS系列全自動氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于工業(yè)真空爐、鍍膜系統(tǒng)、電子束焊接設(shè)備；電廠冷凝器、熱交換器、蒸汽管線、地下沖壓電纜；物理同步加速器、束線、同步輻射光源；電子掃描顯微鏡、半導體加工、薄膜制備、質(zhì)譜分析、真空電子管、激光加工等領(lǐng)域。
特點：
※多種語言和計量單位選擇，可選中文界面
※135o電離偏轉(zhuǎn)（自然聚焦點）的質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)
※新的電子線路及信號處理設(shè)計
※小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程
※快速清氦和快速響應(yīng)
※測試口耐壓高，可實現(xiàn)大漏檢漏
其他說明
| 性能指標 | PR02/PD03 | MR15和MD30 |
| 性能 | 前級泵內(nèi)置式 | 前級泵外置式及小車 |
| 前級泵油式機械泵 | DS-42,2 m3/hr (34 l/m) | DS-302,14 m3/hr (232 l/m) |
| 渦卷式干泵 | 干泵-2 m3/hr (34 l/m) | TS-620 30 m3/hr (500 l/m) |
| 小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 | 5*10 -12 atm cc/sec;5*10 -12 mbar l/s;5*10 -13 Pa m3/sec ,氦氣 | |
| 測試口耐壓 | 13 mbar,10 Torr,1330 Pa | |
| 測試口處對氦氣抽速 | 1.8 l/s | |
| 校準 | 自動或手動(內(nèi)置或外置) | |
| 氦本底清 | 按鍵清,并具有點追蹤功能 | |
| 操作界面 | 高清晰彩顯,TFT觸摸屏 | |
| 語言選擇 | 中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語 | |
| 循環(huán)檢測 | 可編程粗抽時間/測試時間,設(shè)置報廢點 | |
| 響應(yīng)時間 | <0.5秒 | |
| 設(shè)定點 | 標準;5個設(shè)定點;常開或常閉;3個漏率點;1個壓強點;1個聲訊點 | |
| 通訊協(xié)議 | RS-232 通訊接口,9600波特率(9芯串口) | |
| 執(zhí)行標準 | UL,CE,CSA | |
| 無限遠程控制(選件) | 2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA電池/5VDC電源 | |
