FC-R7700系列質(zhì)量流量控制器，采用橡膠密封材質(zhì)，適用于常規(guī)無腐蝕性氣體范圍、產(chǎn)品具有高、
應(yīng)答、重復(fù)性好等特點，具有很高的性價比。產(chǎn)品廣泛使用在半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)用真空裝置數(shù)據(jù)
存儲裝置工業(yè)鍍膜實驗室儀氣環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)，在CVD、PVD、離子擴(kuò)散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并。
特點
◆
針對非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場合、了產(chǎn)品同時，具有很好性價比。
◆替換方便
采用業(yè)界通用的通信方式，很容易對其他廠家的產(chǎn)品進(jìn)行替換，從而實現(xiàn)性能和穩(wěn)定性的目的。
◆高信賴和性
的統(tǒng)性前世上有大約在行中的產(chǎn)品其年目界4萬只運中的產(chǎn)品，其一年內(nèi)的返修率不到0.5%，廣受客戶贊譽
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)答、重復(fù)性好等特點，具有很高的性價比。產(chǎn)品廣泛使用在半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)用真空裝置數(shù)據(jù)
存儲裝置工業(yè)鍍膜實驗室儀氣環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)，在CVD、PVD、離子擴(kuò)散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并。
特點
◆
針對非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場合、了產(chǎn)品同時，具有很好性價比。
◆替換方便
采用業(yè)界通用的通信方式，很容易對其他廠家的產(chǎn)品進(jìn)行替換，從而實現(xiàn)性能和穩(wěn)定性的目的。
◆高信賴和性
的統(tǒng)性前世上有大約在行中的產(chǎn)品其年目界4萬只運中的產(chǎn)品，其一年內(nèi)的返修率不到0.5%，廣受客戶贊譽
技術(shù)參數(shù)
其他說明
| 性能指標(biāo) |
FC-R7700CD/FC-R7700D系列 |
FC-R7710CD/FC-R7710D系列 |
FC-R7720CD/FC-R7720D系列 |
|
滿量程范圍 |
10Sccm-5Slm |
N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** |
35-200Slm |
| 響應(yīng)時間 | 滿流量的&plun;2%范圍內(nèi),小于2秒 | 滿流量的&plun;2%范圍內(nèi),小于3秒 | |
| ≤&plun;1%滿量程 | ≤&plun;2%滿量程 | ||
| 線性鍍 | ≤滿量程&plun;0 5% | ≤滿量程&plun;0 5% #1 | ≤滿量程&plun;1% |
| 重復(fù)性 | ≤滿量程&plun;0.2% | ||
| 泄漏率 | 1X10E-7 Pa.m ³/sec | ||
| 控制范圍 | 滿流量的2%-5% #2 | ||
| 壓差 |
49Kpa-275Kpa |
69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa |
147Kpa-275Kpa |
|
正常工作壓 力 |
490Kpa |
||
| 進(jìn)氣壓力 |
980Kpa |
||
|
溫度范圍 |
5-45℃(41-113℉) |
||
|
輸入電源 |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 180mA |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 200mA |
|
| 功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
| 輸入信號 | 0-5 VDC | ||
| 輸出型號 | 0-5 VDC | ||
| 控制閥形式 | 常開或常閉電磁閥 | ||
| 密封件 | 氟橡膠 | ||
| 材質(zhì) | 316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠) | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
| 重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
