PEG100潘寧規(guī)技術(shù)優(yōu)點(diǎn):
測(cè)量范圍廣:5 X 10-7~1 Pa
全金屬冷陰陶瓷傳感器
新型幾何電提供了好的點(diǎn)火性能
降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過(guò)程中也一樣
陽(yáng)環(huán)和鈦陰可清洗,更換容易
小磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)量
LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
Fieldbus總線接口(Profibus DB,DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信
PEG100潘寧規(guī)技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍 1·10-9至1·10-2毫巴/乇
在范圍從1·10-8至1·10-4毫巴
的測(cè)量不定性:
偏離特性±30%顯示值
輸出跨度的平均溫度系數(shù)<0.5%/K 顯示值
再現(xiàn)性<4%顯示值
測(cè)量原理冷陰潘寧電離
電源電壓 14.5至36 V DC,典型24 V DC 紋波≤2 Vpp
功耗<2瓦保護(hù) IP 40
電磁兼容性(EMI)CE 標(biāo)志干擾合EN 50082-2,表1,2,3
干擾合EN 50081-1和FCC規(guī)程5部分,B級(jí)
易燃性 UL 94-V2
狀態(tài)顯示
運(yùn)行(POWER)桔色LED 準(zhǔn)備測(cè)量(點(diǎn)燃)READY 綠色LED
測(cè)量訊號(hào) 0.66 V至10 V;
對(duì)數(shù),1.333 V每量級(jí)
狀態(tài)訊號(hào)(未點(diǎn)燃)0.4 V








