INFICON的Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)PSG500和 PSG502-S 代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的的Pirani技術(shù)。溫度補(bǔ)償提供快速與穩(wěn)定的真空測(cè)量并消除了對(duì)大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問(wèn)題。堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)，以及常規(guī)用途如前級(jí)真空管道中。
特點(diǎn)
占空間小
任何方位安裝
不銹鋼測(cè)量單元的金屬密封饋入件
化的溫度補(bǔ)償
易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出
至10巴壓力的高過(guò)壓能力，用螺紋連接件
烘烤型在法蘭處可250°C
易于更換的傳感單元
應(yīng)用
控制高真空電離真空計(jì)
前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)
真空系統(tǒng)中的電路
在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量與控制
特點(diǎn)
占空間小
任何方位安裝
不銹鋼測(cè)量單元的金屬密封饋入件
化的溫度補(bǔ)償
易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出
至10巴壓力的高過(guò)壓能力，用螺紋連接件
烘烤型在法蘭處可250°C
易于更換的傳感單元
應(yīng)用
控制高真空電離真空計(jì)
前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)
真空系統(tǒng)中的電路
在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量與控制
