INFICON的MPG400、MPG401冷陰和皮拉尼復合真空規(guī)，測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓（3.8 x10-9乇至大氣壓）。將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內，大大地降低了安裝，設置和集成的復雜性。
MPG400冷陰和皮拉尼的復合真空規(guī)的詳細介紹
優(yōu)點：
■復合真空規(guī)—冷陰與皮拉尼
■寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無可燒毀的燈絲
■卓越的引燃功能
■
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時LED指示燈亮
■對數(shù)模擬輸出訊號
應用：
■高真空壓強監(jiān)測
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍
MPG400冷陰和皮拉尼的復合真空規(guī)的詳細介紹
優(yōu)點：
■復合真空規(guī)—冷陰與皮拉尼
■寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無可燒毀的燈絲
■卓越的引燃功能
■
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時LED指示燈亮
■對數(shù)模擬輸出訊號
應用：
■高真空壓強監(jiān)測
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍
其他說明
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測量范圍 (空氣, N2) |
毫巴(乇) |
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) |
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(N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 |
% 讀值 |
≈&plun;30% |
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重復性1 x 10-8 … 100毫巴 |
% 讀值 |
≈&plun;5% |
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安裝方向 |
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任何 |
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允許壓強 |
巴() |
≤10 (限于惰性氣體) |
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允許溫度 工作 (室溫) 貯存 烘烤 1) 燈絲溫度 (皮拉尼) |
°C °C °C °C |
+5 … +55 –40 … +65 150 120 |
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電源電壓 |
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在規(guī)管上 |
V DC |
+15 … +30 |
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在供電單元上, 電纜長度 2) |
V DC |
+16 … +30 |
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紋波 |
Vpp |
≤1 |
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功耗 |
W |
≤2 |
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連接保險絲 |
AT |
≤1 |
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輸出訊號(測量訊號) |
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電壓范圍 |
V |
0 … +10.5 |
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測量范圍 |
V |
+1.82 … +8.6 |
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電壓與壓強的關系 |
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對數(shù), 0.6 V/量級 |
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誤差訊號 |
V |
<0.5 (無電源) |
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V |
>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂) |
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輸出阻 |
? |
2 x 10 |
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小負載阻 |
k? |
10, 短路保護 |
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響應時間 p > 10-6 毫巴 |
毫秒 |
<10 |
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p = 10-8 毫巴 |
毫秒 |
≈1000 |
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規(guī)管標識 |
k? |
85, 參考電源公共點 |
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狀態(tài) |
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皮拉尼模式 |
V |
0 (低) |
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復合皮拉尼 / 冷陰模式 |
V |
15 … 30 (高) |
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指示燈 |
LED 綠色 |
高壓on |
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電氣連接 |
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FCC 68 設備連接件, 8腳,凹型 |
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傳感器電纜 |
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8芯,加屏蔽 |
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電纜長度 |
米 |
≤50 (8 x 0.14 毫米 2) |
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工作電壓 |
千伏 |
≤3.3 |
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工作電流 |
微安 |
≤500 |
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暴露于真空的材料 |
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不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W |
不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W |
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內容積 |
厘米3 |
≈20 |
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重量 |
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DN 25 ISO-KF |
克 |
≈700 ≈730 |
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DN 40 ISO-KF |
克 |
≈720 ≈750 |
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DN 40 CF-F |
克 |
≈980 ≈1010 |
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保護級別 |
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IP 40 |
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標準 |
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EN 6 1000-6-2 , EN 6 1000-6-3 , EN 61010-1 |
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