FC-R7800系列采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性，可適用于大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。提供行業(yè)通用和AE電氣信號(hào)可選方案，可方便對(duì)用戶使用的質(zhì)量流量控制器（MFC）進(jìn)行替換，操作簡(jiǎn)單。
特點(diǎn)
◆高
◆高信賴和性
◆耐腐蝕設(shè)計(jì)
◆采用金屬密封材質(zhì)
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆應(yīng)答的統(tǒng)一性，目前世界上有大約7萬(wàn)只在運(yùn)行中的產(chǎn)品，內(nèi)的返修率不到0.5%，廣受客戶贊譽(yù)◆方
◆方便的互換性
特點(diǎn)
◆高
◆高信賴和性
◆耐腐蝕設(shè)計(jì)
◆采用金屬密封材質(zhì)
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆應(yīng)答的統(tǒng)一性，目前世界上有大約7萬(wàn)只在運(yùn)行中的產(chǎn)品，內(nèi)的返修率不到0.5%，廣受客戶贊譽(yù)◆方
◆方便的互換性
其他說(shuō)明
| 性能指標(biāo) |
FC-R7800CD/FC-R7800D系列 |
FC-R7810CD/FC-R7810D系列 |
FC-R7820CD/FC-R7820D系列 |
|
滿量程范圍 |
10Sccm-5Slm |
N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** |
35-200Slm |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 滿流量的&plun;2%范圍內(nèi),小于2秒 | 滿流量的&plun;2%范圍內(nèi),小于3秒 | |
| ≤&plun;1%滿量程 | ≤&plun;2%滿量程 | ||
| 線性鍍 | ≤滿量程&plun;0 5% | ≤滿量程&plun;0 5% #1 | ≤滿量程&plun;1% |
| 重復(fù)性 | ≤滿量程&plun;0.2% | ||
| 泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ³/sec | ||
| 控制范圍 | 滿流量的2%-5% #2 | ||
| 壓差 |
49Kpa-275Kpa |
69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa |
147Kpa-275Kpa |
|
正常工作壓 力 |
490Kpa |
||
| 進(jìn)氣壓力 |
980Kpa |
||
|
溫度范圍 |
5-45℃(41-113℉) |
||
|
輸入電源 |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 180mA |
+15VDC&plun;2% 25mA -15VDC&plun;2% 200mA |
|
| 功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
| 輸入信號(hào) | 0-5 VDC | ||
| 輸出型號(hào) | 0-5 VDC | ||
| 控制閥形式 | 常開(kāi)或常閉電磁閥 | ||
| 密封件 | 金屬密封 | ||
| 材質(zhì) | 316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠) | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
| 重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
