產(chǎn)品簡介：
FS1015系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
產(chǎn)品特點：
-專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設(shè)計
-高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計原理可測量至8mm／sec的流體流量
-無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損
-傳感器的點穩(wěn)定度高
-經(jīng)液處理后可重復(fù)使用
-自動轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計了測量
-主機設(shè)備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出
FS1015系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
產(chǎn)品特點：
-專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設(shè)計
-高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計原理可測量至8mm／sec的流體流量
-無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損
-傳感器的點穩(wěn)定度高
-經(jīng)液處理后可重復(fù)使用
-自動轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計了測量
-主機設(shè)備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出
其他說明
| 產(chǎn)品 | FS1015CL | 單位 | |
| 流量范圍 | 0 - 150 | SLPM | |
| &plun;(1.5&plun;0.1FS) | % | ||
| 重復(fù)性 | &plun;0.75 | % | |
| 響應(yīng)時間 | 10(Max.) | msec | |
| 工作電壓 | 5&plun;1% | Vdc | |
| 輸出方式 | 線性,模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| 壓損 | 500 | Pa | |
| 工作壓力 | 0.2 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 - 55 | ℃ | |
| 儲存溫度 | -20 - 65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95(無結(jié)冰,無凝露) | %RH | |
| 機械接口 (入口:外;出口:內(nèi)); | ISO-15 | ||
