性能規(guī)格
　?。?
　　&plun;1.5％滿(mǎn)度，在15ºC到25ºC及5到60psia（0.3到4bara）下，如果流量計(jì)是通過(guò)垂直流量通路安裝的，則為下所示：
　　
　　工作壓力
　　入口壓力偏差2 50psig 100psig 150psig
　　&plun;1psig&plun;1.5%滿(mǎn)度&plun;1.5%滿(mǎn)度&plun;1.5%滿(mǎn)度
　　&plun;5psig&plun;3.8%滿(mǎn)度&plun;4.5%滿(mǎn)度&plun;5.3%滿(mǎn)度
　　&plun;10psig&plun;6%滿(mǎn)度&plun;7.5%滿(mǎn)度&plun;9%滿(mǎn)度
　　注：（1）不能過(guò)150psig.
　?。?）入口壓力與標(biāo)定壓力之差，不可過(guò)&plun;10psig.
　　
　　重復(fù)性：
　　&plun;0.5%滿(mǎn)度。
　　溫度系數(shù)：
　　0.08%滿(mǎn)度每ºF（0.15％滿(mǎn)度每ºC），或更好。
　　壓力系數(shù)：
　　0.01%滿(mǎn)度每psi（0.15％滿(mǎn)度每bar），或更好。
　　響應(yīng)時(shí)間：
　　時(shí)間常數(shù)800毫秒；6秒到終值的&plun;2%以?xún)?nèi)，滿(mǎn)度的25%到100%。
　　
　　操作規(guī)格：
　　氣體：
　　大多數(shù)氣體，檢查與介質(zhì)的兼容性：訂貨時(shí)具體指出。
　　質(zhì)量流量：
　　0－10sccm到0－500slpm；指定的流量范圍是76厘米汞柱、21ºC（70ºF）下的氮?dú)鈱?duì)應(yīng)流量范圍；用其他單位表示的流量范圍也可提供（即：scfh或nm3/hr）。
　　氣體壓力：
　　1000psig（68.9barg），適用于低流量流體。
　　500psig（34barg）；20psig（1.4barg）。
　　
　　壓降：
　　820-S（低）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；15slpm：1.5psi（0.10bar或水的105cm水柱），值不同。
　　820-S（中）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；100slpm：1.5psi
　?。?.10bar或水的105cm水柱），值不同。
　　820-S（高）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；300、400和500slpm；2psi（0.14bar或水的140cm水柱），值不同。
　　氣體＆環(huán)境溫度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50ºC）。
　　滲漏功能：
　　為5×10-9ATM CC/sec（氦氣）。
　　電源要求：
　　12到18VDC，通常15VDC，100mA，24VDC可選，訂貨時(shí)具體指出。
　　輸出信號(hào)：
　　線(xiàn)性0-5VDC，1000＆＃8486；小阻；
　　線(xiàn)性4-20mA，500＆＃8486；回路電阻。
　　顯示（可選）：
　　數(shù)字液晶顯示，可遠(yuǎn)程安裝。
　　
　　物理規(guī)格
　　材質(zhì)：
　　316L 不銹鋼，鍍鎳，標(biāo)準(zhǔn)“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings）、氯丁橡膠及4079 Kal-Rez“O”型密封圏可選。