性能規(guī)格
　　：
　　&plun;1.5％滿度，在15ºC到25ºC及5到60psia（0.3到4bara）下，如果流量計是通過垂直流量通路安裝的，則為下所示：
　　
　　工作壓力
　　入口壓力偏差2 50psig 100psig 150psig
　　&plun;1psig&plun;1.5%滿度&plun;1.5%滿度&plun;1.5%滿度
　　&plun;5psig&plun;3.8%滿度&plun;4.5%滿度&plun;5.3%滿度
　　&plun;10psig&plun;6%滿度&plun;7.5%滿度&plun;9%滿度
　　注：（1）不能過150psig.
　?。?）入口壓力與標定壓力之差，不可過&plun;10psig.
　　
　　重復性：
　　&plun;0.5%滿度。
　　溫度系數(shù)：
　　0.08%滿度每ºF（0.15％滿度每ºC），或更好。
　　壓力系數(shù)：
　　0.01%滿度每psi（0.15％滿度每bar），或更好。
　　響應時間：
　　時間常數(shù)800毫秒；6秒到終值的&plun;2%以內，滿度的25%到100%。
　　
　　操作規(guī)格：
　　氣體：
　　大多數(shù)氣體，檢查與介質的兼容性：訂貨時具體指出。
　　質量流量：
　　0－10sccm到0－500slpm；指定的流量范圍是76厘米汞柱、21ºC（70ºF）下的氮氣對應流量范圍；用其他單位表示的流量范圍也可提供（即：scfh或nm3/hr）。
　　氣體壓力：
　　1000psig（68.9barg），適用于低流量流體。
　　500psig（34barg）；20psig（1.4barg）。
　　
　　壓降：
　　820-S（低）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；15slpm：1.5psi（0.10bar或水的105cm水柱），值不同。
　　820-S（中）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；100slpm：1.5psi
　　（0.10bar或水的105cm水柱），值不同。
　　820-S（高）……0.08psi（0.006bar或水的6cm水柱），值不同；300、400和500slpm；2psi（0.14bar或水的140cm水柱），值不同。
　　氣體＆環(huán)境溫度：
　　32ºF到122ºF（0ºC到50ºC）。
　　滲漏功能：
　　為5×10-9ATM CC/sec（氦氣）。
　　電源要求：
　　12到18VDC，通常15VDC，100mA，24VDC可選，訂貨時具體指出。
　　輸出信號：
　　線性0-5VDC，1000＆＃8486；小阻；
　　線性4-20mA，500＆＃8486；回路電阻。
　　顯示（可選）：
　　數(shù)字液晶顯示，可遠程安裝。
　　
　　物理規(guī)格
　　材質：
　　316L 不銹鋼，鍍鎳，標準“O”形橡膠密封圈（Viton“O”-rings）、氯丁橡膠及4079 Kal-Rez“O”型密封圏可選。