一、主要用途：保密。
二、技術(shù)指標：
1.譜儀真空3×10-a（探測器位置處），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空機組由甲方自行購置，乙方設(shè)計，系統(tǒng)氣阻盡量小）；
2.濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件與瞄準系統(tǒng)整體軸向&plun;4 mm的平移調(diào)節(jié)與&plun;1°的角度調(diào)節(jié)，角度調(diào)節(jié)0.01°；
3.瞄準系統(tǒng)靶點瞄準不確定度不大于&plun;1mm，用兩個Φ2mm的小孔表示譜儀中心軸線，為兩小孔的距離不小于1000mm，與譜儀軸線的同軸度Φ0.01mm.
三、系統(tǒng)組成：
真空隔斷裝置、調(diào)節(jié)機構(gòu)、主真空腔體等組成。
二、技術(shù)指標：
1.譜儀真空3×10-a（探測器位置處），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空機組由甲方自行購置，乙方設(shè)計，系統(tǒng)氣阻盡量小）；
2.濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件與瞄準系統(tǒng)整體軸向&plun;4 mm的平移調(diào)節(jié)與&plun;1°的角度調(diào)節(jié)，角度調(diào)節(jié)0.01°；
3.瞄準系統(tǒng)靶點瞄準不確定度不大于&plun;1mm，用兩個Φ2mm的小孔表示譜儀中心軸線，為兩小孔的距離不小于1000mm，與譜儀軸線的同軸度Φ0.01mm.
三、系統(tǒng)組成：
真空隔斷裝置、調(diào)節(jié)機構(gòu)、主真空腔體等組成。
