本公司COL－系列烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制。
　　技術(shù)參數(shù)：
　　1.百級(jí)烤箱型號(hào)：COL-2
　　2.烘箱工作尺寸（mm）：W600×H600×D500
　　3.溫度范圍：RT＋60℃～300℃
　　4.烤箱潔凈度：100級(jí)；
　　5.溫度均勻性：±1.5%
　　6.波動(dòng)度：±0.5℃
　　7.電源：380V　50Hz　7.5KW；
　　8.箱體材料：外箱采用　SS41＃中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層光面涂裝烤漆，可微塵（PARTICLE），內(nèi)室材料：采用SUS304＃無(wú)磁性鏡面不銹鋼，保溫材料：細(xì)玻璃棉；
　　9.空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)；
　　10.加熱方式：不銹鋼電加熱器；
　　11.溫度測(cè)量傳感器：Pt100鉑電阻；
　　12.控制儀表：數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制0.1℃；
　　13.溫保護(hù)儀表：于工作室主控制的溫保護(hù)系統(tǒng)，試驗(yàn)品的；
　　14.控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等元?dú)饧?
　　15.排氣口：ф50；
　　16.隔板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG.