技術(shù)參數(shù):
1.標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行時(shí)間(在10-9的范圍內(nèi)測(cè)試):
4秒鐘內(nèi),標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試腔(無(wú)需氮?dú)獯祾撸?
2.測(cè)量范圍:2.10-11to1.10-1mbar.l/s*
3.一到兩臺(tái)粗抽泵:25m3/h(15cfm)or 50 m3/h(30cfm)
4.前級(jí)泵:20m3/h(12cfm)
5.高真空泵:200 1/s復(fù)合分子泵pump
6.氦氣抽速:4.4 l/s
7.功率消耗:2.3KVA
8.重量:190 kg/418 lbs








