使用安裝在物鏡上方的DIC棱鏡(諾瑪斯基棱鏡),將照明光橫向分離成兩束光線照明樣品。從樣品直接反射出的兩束光線的差生成明暗對比,從而能立體的觀察樣品表面上微小的高低不平。此外,利用靈敏色輝片,光程差會產(chǎn)生顏色變化,有助于更好的觀察樣品。
產(chǎn)品主要用于觀察具有微小的高低不平的樣品,如:晶圓研磨面、硬盤表面、磁頭研磨面、金相組織等。
二、產(chǎn)品特點(diǎn):
1、能呈現(xiàn)具有浮雕感的圖像,對試樣的高低不平有高的分辨率;
l2、通過調(diào)節(jié)棱鏡的位置,調(diào)節(jié)色彩,出現(xiàn)諸如黑、黃、紅、綠等多種色彩背景;
三、主要技術(shù)參數(shù):
1.攝像系統(tǒng):300萬制冷CCD攝像頭,光學(xué)尺寸為:1/2
2.10X,NA0.28mm,工作距離33.5mm,焦點(diǎn)距離20mm,分解能:1um,焦深:3.58um,視野:0.64*0.48(mm)
3.調(diào)焦:粗微動調(diào)焦
4.照明:同軸照明,可變亮度光圈
選購件:
1.物鏡:2X,NA0.005mm,工作距離34mm,焦點(diǎn)距離100mm,分解能:5um,焦深:91um,視野:3.2*2.4(mm)
2.物鏡:5X,NA0.14mm,工作距離34mm,焦點(diǎn)距離40mm,分解能:2um,焦深:14um,視野:1.28*0.96(mm)
3.物鏡:20X,NA0.42mm,工作距離20mm,焦點(diǎn)距離10mm,分解能:0.7um,焦深:1.6um,視野:0.32*0.24(mm)
4.物鏡:50X,NA0.55mm,工作距離13mm,焦點(diǎn)距離4mm,分解能:0.5um,焦深:0.9um,視野:0.128*0.096(mm)
5.物鏡:100X,NA0.55mm,工作距離13mm,焦點(diǎn)距離2mm,分解能:0.5um,焦深:0.9um,視野:0.064*0.048(mm)








